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Application of Time-Frequency Wavelet Analysis in the Reflectometry of Thin Films

机译：时频小波分析在薄膜反射测量中的应用

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The application of time-frequency wavelet analysis for solving the reflectometry inverse problem is considered. It is shown that a simultaneous transform of specular intensity curve, depending on the grazing angle and spatial frequency, allows one to determine not only the thickness but also the alteration order of individual regions (layers) with characteristic behavior of electron density. This information makes it possible to reconstruct the electron density profile in the film cross section as a whole (i.e., to solve the inverse reflectometry problem). The application of the time-frequency transform is illustrated by examples of reconstructing (based on X-ray reflectivity data) the layer alternation order in models of two-layer films with inverted arrangement of layers and a four-layer film on a solid substrate.
机译：考虑了用于解决反射逆问题的时频小波分析的应用。 结果表明，镜面强度曲线的同时变换，取决于放牧角度和空间频率，允许人们不仅确定具有电子密度特征行为的单个区域（层）的厚度，而且是厚度的变化。 该信息使得可以将胶片横截面中的电子密度分布重构为整体（即，解决逆反射率问题）。 通过重建（基于X射线反射率数据）的示例来示出时频变换的应用，其中两层膜的模型中具有倒置布置的两层膜的层交替顺序和固体基质上的四层膜。

著录项

  • 来源
    《Crystallography reports》 |2017年第2期|共6页
  • 作者

    Astafev S. B.; Shchedrin B. M.; Yanusova L. G.;

  • 作者单位

    Russian Acad Sci Fed Sci Res Ctr Crystallog &

    Photon Shubnikov Inst Crystallog Moscow 119333 Russia;

    Moscow MV Lomonosov State Univ Fac Computat Math &

    Cybernet Moscow 119991 Russia;

    Russian Acad Sci Fed Sci Res Ctr Crystallog &

    Photon Shubnikov Inst Crystallog Moscow 119333 Russia;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类 晶体学;
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