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【24h】

A Microlens Array with Different Focal Lengths Fabricated by Roll-To-Roll UV Lithography

机译：一种微透镜阵列，具有由卷到卷UV光刻制造的不同焦距的焦距

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A simple, highly efficient and low cost roll-to-roll (R2R) UV imprinting lithography facility was achieved for fabricating micro-structures. Firstly, a novel microlens array with focuses distributed on a curved surface was designed and analyzed by an optical software ZEMAX. Then an ultra-precision diamond machine was applied to generate the freeform microlens array features on the master mold, and a belt type polydimethylsiloxane (PDMS) mold with a microlens array pattern was prepared from the machined master mold. The R2R process was employed to replicate the microlens arrays, followed by an evaluation of their profiles and optical properties. Our experiments demonstrate that the applied method is reliable and efficient for producing the polymeric microlens arrays.
机译：实现了一种简单，高效，低成本的滚动（R2R）UV压印光刻设施，用于制造微结构。 首先，设计并通过光学软件Zemax设计和分析了一种具有分布在弯曲表面上的焦点的微透镜阵列。 然后，应用超精密金刚石机以产生母模上的自由形状微透镜阵列特征，并由机加工母模制备具有微透镜阵列图案的带式聚二甲基硅氧烷（PDMS）模具。 使用R2R过程以复制微透镜阵列，然后评估其谱和光学性质。 我们的实验表明，应用方法可靠且有效地用于生产聚合物微透镜阵列。

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