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首页> 外文期刊>Journal of Micromechanics and Microengineering >Fabrication of high-aspect-ratio microgrooves using an electrochemical discharge micromilling process
【24h】

Fabrication of high-aspect-ratio microgrooves using an electrochemical discharge micromilling process

机译：使用电化学放电测量方法制造高纵横比微槽

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In this study, we created high-aspect-ratio microgrooves in hard, brittle materials using an electrochemical discharge machining (ECDM) process by introducing microtextured machining tool. To enhance the electrical discharge activity, the morphology of the tool side surface was treated via micro-electrical discharge machining to produce fine microprotrusive patterns. The resulting microtextured surface morphology enhanced the electric field and played a key role in improving the step milling depth in the ECDM process. Using the FEM analysis, the evaluation of the field enhancement factor is also addressed. Our experimental investigation revealed microgrooves having an aspect ratio of 1:4, with high geometric accuracy and crack-free surfaces, using one-step ECDM.
机译：在这项研究中，我们通过引入微块加工工具，使用电化学放电加工（ECDM）工艺来创建高纵横比微腔。 为了增强放电活动，通过微电放电加工处理工具侧表面的形态，以产生细微的微遮动装置。 所得到的微织地表面形态增强了电场，并在改善ECDM过程中的步进铣削深度方面发挥了关键作用。 使用有限元分析，还解决了现场增强因子的评估。 我们的实验研究揭示了使用单步ECDM的高几何精度和无裂纹表面具有1：4的微型侵略性。

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