• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>Journal of Micromechanics and Microengineering >A 37-actuator polyimide deformable mirror with electrostatic actuation for adaptive optics microscopy
【24h】

A 37-actuator polyimide deformable mirror with electrostatic actuation for adaptive optics microscopy

机译：具有静电驱动的37致动器聚酰亚胺可变形镜，适用于自适应光学显微镜

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

Widespread use of adaptive optics in life-science microscopy is predominantly hindered by the high cost of conventional MEMS deformable mirrors. We present here a potentially low-cost and compact alternative in the form of an electrostatic deformable mirror developed particularly for applications in adaptive optics microscopy.The device is fabricated with standard micro-machining processes using widely available materials to minimize cost, but still offers exceptional post-assembly mirror quality. With an aperture size of 10mm, the device has a post-fabrication root-mean-square mirror flatness error of <250nm and an active best-flat of <15 nm. The membrane is made of an aluminum-coated 3.5 mu m thick polyimide membrane that has high compliance, allowing a maximum peak-to-valley stroke of 15 mu m at 375 V. Driven using a custom-developed optimization-based open-loop control scheme, we successfully reproduced Zernike modes of up to fifth radial order with high shape fidelity.
机译：在生命科学显微镜中广泛使用自适应光学器件主要受到常规MEMS可变形镜的高成本阻碍的。 我们在这里介绍一种静电可变形镜形式的潜在低成本和紧凑的替代方案，特别是用于自适应光学显微镜的应用。使用广泛可用的材料的标准微加工工艺制造了该装置，以尽量减少成本，但仍提供卓越的 装配后镜子质量。 具有10mm的孔径尺寸，该装置具有制造后的根部平均方形镜平坦度误差<250nm和<15nm的活性最平坦。 膜由铝涂覆的3.5μm厚的聚酰亚胺膜制成，其具有高顺应性，允许使用自定义开发的优化的开环控制驱动的375 V的最大峰 - 谷行程。 方案，我们成功地复制了高达第五径向径向的Zernike模式，具有高形状保真度。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号