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首页> 外文期刊>Journal of Micromechanics and Microengineering >A simple edge-following scanning algorithm for proton beam writing and other direct-write lithographies
【24h】

A simple edge-following scanning algorithm for proton beam writing and other direct-write lithographies

机译：用于质子束写作的简单边缘扫描算法和其他直接写入光线

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The quality of the structures fabricated using proton beam writing (PBW) and other direct-write microfabrication methods is strongly influenced by the path followed by the writing beam during the exposure. In particular, it is necessary to avoid paths in which the beam makes large jumps or changes in direction close to the edges of the structure, and ideally the scan path should follow the outline of the pattern to be exposed (sometimes referred to as turtle scanning). While this is relatively easy to implement when the patterns to be created can be built up from simple geometric shapes (circles, rectangles, etc), it has not been possible to do this in the case of arbitrarily complex images, at least using software available to the PBW community.
机译：使用质子束写入（PBW）和其他直接写入微生物制备方法制造的结构的质量受到在曝光期间的路径后跟书写光束的影响。 特别地，有必要避免光束在靠近结构边缘的方向上变大或改变的路径，理想情况下，扫描路径应该遵循要暴露的图案的轮廓（有时称为龟扫描 ）。 虽然当要创建的模式可以从简单的几何形状（圆形，矩形等）相对容易实现时，但是至少可以在任意复杂的图像的情况下执行此操作，至少可以使用可用的软件 到PBW社区。

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