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半導体製造装置組込を可能にするフィードバック流量コントローラ

机译：反馈流量控制器，使嵌入半导体制造设备

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CLFC－100フイ「ドバック流量コントローラは，流量測定部に当社が長年の実績を持つ超音波流量計を採用し，高度なディジタル信号処理による流量演算，設定値に対するPID演算を行う回路部とバルブ制御機能·制御バルブを一体化した流量コントローラであり，半導体製造等の装置に組み込むことを目的として開発された。 測定した流量信号と，外部からの設定流量信号を比較し，目標の設定流量に極めて速いスピードで追随させることができるPID機能を搭載しており，薬液の定量供給，DIWの流量制御，スラリ流体の一定値制御など，半導体装置で要求される様々な液体コントロール用として使用することができる。
机译：CLFC-100 Hui“Debuck流量控制器采用超声波流量计，随着流量测量单元的长期使用多年，并且执行电路单元和阀门控制，用于流动操作和高速计算的流量计算数字信号处理程度。它是与功能/控制阀集成的流量控制器，并开发用于结合到诸如半导体制造的装置中。测量的流量信号和外部集合信号的比较和目标设定流量极大，它配备了PID功能，可以以快速速度遵循，并且可以将其用于半导体器件如定量供应的化学溶液，DIW流量控制，恒定值所需的各种液体控制控制浆料液，恒值控制罐。

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