〈ホップ?ステップ?ジャンプ〉走査電子顕微鏡の最先端応用例ーFIB-SEM複合装置を用いた3次元構造解析

森川晃成

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〈ホップ?ステップ?ジャンプ〉走査電子顕微鏡の最先端応用例ーFIB-SEM複合装置を用いた3次元構造解析

机译：<跳？步骤？跳跃>三维结构分析使用FIB-SEM复合装置切割电子显微镜

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走査電子顕微鏡(SEM)に集束イオンビーム加工観察装置(FIB)を複合化することにより,SEMの情報量が飛躍的に拡大する.その最先端応用が試料内部の3次元構造解析である.これは,F旧による微小部の加工と加工面のSEM観察を交互に繰り返して達成される.本稿では,3次元再構築の手法と応用例について紹介する.

机译：通过将聚焦离子束处理观察装置（FIB）组合在扫描电子显微镜（SEM）中，SEM的信息量显着扩展。它是单向响应的三维结构分析。这是本文介绍了本文的三维重建方法和应用实例。

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来源
《应用物理》 |2012年第6期|共4页
作者
森川晃成;
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作者单位

株式会社日立ハイテクノロジーズグローバルアプリケーションセンタ〒312-0057 ひたちなか市石川町11-1.;

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正文语种 jpn
中图分类应用物理学;
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