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电子显微镜(SEM)新产品——复合光束加工观测装置

         

摘要

日本电子近日上市了电子显微镜(SEM)新产品——复合光束加工观测装置“JIB-4500”。该产品具备获取并分析表面和内部三维图像的能力,除了聚焦离子束(FIB)加工和SEM观测功能外,还可利用能量分散型X射线分析装置(EDS)和电子背散射衍射(EBSD)系统进行分析。

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