...
首页> 外文期刊>Физика и техника полупроводников >Моделирование переходных процессов в полупроводниковых приборах на основе 4#-SiC (учет неполной ионизации легирующих примесей в модуле ATLAS программного пакета SILVACO TCAD)
【24h】

Моделирование переходных процессов в полупроводниковых приборах на основе 4#-SiC (учет неполной ионизации легирующих примесей в модуле ATLAS программного пакета SILVACO TCAD)

机译:通过#-SiC建模在半导体装置4的瞬态过程的(保持不完全电离的掺杂剂在ATLAS模块SILVACO TCAD软件包)

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           

摘要

Проведено моделирование переходного процесса в RC-цепи с обратно смещенным 4H-SiC р-n-диодом в качестве емкостного элемента. Для моделирования использовался программный модуль ATLAS, входящий в состав системы приборно-технологического проектирования SILVACO TCAD. Предложен и опробован альтернативный имеющемуся в ATLAS способ задания параметров легирующих примесей, частично ионизированных в 4H-SiC при комнатной температуре. (Имеющаяся в модуле ATLAS физическая модель INCOMPLETE, описывающая неполную ионизацию легирующих примесей в полупроводниках, непригодна для моделирования динамических характеристик приборов). Результаты моделирования обсуждаются в свете полученных ранее результатов экспериментальных исследований.
机译:在RC电路中模拟过渡过程,其具有反向移位的4H-SiC P-N-二极管作为电容元件。用于建模,ATLAS软件模块,这是Silvaco TCAD仪器和技术设计系统的一部分。提出并测试了在室温下在4H-SiC中部分电离的合金化杂质参数的替代方法。 (描述半导体中合金化杂质不完全电离的不完全电离的物理模型不适合于对设备的动态特性进行建模)。根据先前获得的实验研究结果讨论了模拟结果。

著录项

  • 来源
  • 作者单位

    Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук 194021 Санкт-Петербург Россия;

    Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук 194021 Санкт-Петербург Россия;

    Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук 194021 Санкт-Петербург Россия;

  • 收录信息
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 rus
  • 中图分类 半导体物理学;
  • 关键词

相似文献

  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号