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首页> 外文期刊>静電気学会講演論文集 >RFプラズマ処理による鉄箔の窒化
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RFプラズマ処理による鉄箔の窒化

机译：RF等离子体处理铁箔的氮化物

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1972年東北大学のKim,髙橋らによって巨大磁化を持つ鉄と窒化鉄（α”-Fe_(16)N_2)の混合物が真空蒸着法にて生成されたことが報告された。それ以来分子線エピタキシー法，スパッタ法，イオン注入法など様々な方法で窒化鉄薄膜の生成の研究がなされてきた。しかし，これらの方法で作製される窒化鉄は薄膜や粉末であるので工業的応用を行うにあたっては課題があった。そこで大量に窒化鉄を生成することができるバルクを用いた生成法に注目がされている。バルクにて窒化鉄を作製する方法として本研究ではプラズマ照射による窒化に着目している。本研究室では以前より直流プラズマによる鉄箔の窒化を試み，α”-Fe_(16)N_2を含む様々な窒化鉄（Fe_2N, Fe_4N等)の生成に成功している。しかし，α”-Fe_(16)N_2を生成するにはプラズマ処理後に液体窒素による急冷が必要であることやα”-Fe_(16)N_2が準安定物質であることで生成が困難であった。そこで本研究ではRFプラズマ装置を組み，鉄箔にプラズマ照射することで窒化鉄の生成を試みた。
机译：据报道，1972年北北北大学金的真空蒸发产生了铁和氮化物（α“-Fe_（16）N_2）的混合物，由Kim的真空蒸发产生。研究已经在各种方法中进行了研究，如外延，溅射和离子注入方法。然而，由于这些方法产生的铁氮化物是薄膜和粉末，以便进行产业应用存在问题。重点是使用可以产生氮化物大量的体积的形成方法。作为生产氮化物的制造方法，本研究侧重于在该实验室中的等离子体照射氮化，它已成功由各种氮化物（Fe_2N，Fe_4N等）产生，包括α“-Fe_（16）N_2，已经尝试过在DC等离子体之前对氮化物铁箔。然而，为了产生α“-Fe_（16）N_2，在血浆处理后需要液氮淬火，并且难以产生α”-FE_（16）N_2，因为它是稳定物质。因此，在该研究中，组装RF等离子体装置，通过等离子体照射成像铁箔以形成氮化物。

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