大気圧プラズマ照射による絶縁物表面の帯電

清水鉄司; 菊永和也; 榊田創

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大気圧プラズマ照射による絶縁物表面の帯電

机译：通过大气压等离子体照射充电绝缘体表面

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本研究では、ヘリウムプラズマジェットを用いてポリイミド表面にプラズマ照射を行い、静電容量型アレイセンサを用いてポリイミドフィルム上の表面電位分布を計測した。Heガス流量が2.0 1/minの時、中心部に-20 Vの負の領域があり、その周りに100 V程度の高電圧領域をドーナツ状に持つ電位分布が形成された。このような表面における電位測定は、プラズマ照射による医療効果などを理解、最適化するうえで重要と考えている。

机译：在该研究中，使用氦等离子体射流在聚酰亚胺的表面上进行等离子体照射，并且使用电容阵列传感器测量聚酰亚胺膜上的表面电位分布。当HE气体流速为2.0 1 / min时，中心存在-20V的负区域，并且在其周围形成具有约100V的高电压区域的电位分布。在这种表面上的潜在测量被认为是在理解和优化等离子体辐射的理解和优化医学效果中的重要性。

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来源
《静電気学会講演論文集》 |2019年第2019期|共2页
作者
清水鉄司; 菊永和也; 榊田創;
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作者单位

産総研電子光RI;

産総研製造技術RI;

産総研電子光RI;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类电磁学、电动力学;
关键词

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