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水素計測電子顕微鏡の開発：材料の水素脆化解明を目指す測定手法の開発

机译：氢气测量电子显微镜的研制：旨在阐明材料施加氢气的测量方法

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太陽光パネルや半導体デバイスなど、各種の製造装置環境である高真空から超高真空環境を金属容器で構築する時、容器内の残留気体の主成分は水素である。理由の一つは、ターボ分子ポンプなど超高真空対応のポンプで水素の排気速度が他のガスよりも小さいために、容器内に存在していた水素や、容器内壁に吸着していて容器内に脱離した水素をいつまでも排気しきれないことである。また、ステンレス鋼などの真空容器材料に固溶され、ベーキング（過熱脱ガス）後も材料内部から真空容器内に拡散·放出される水素ガスも無視できない。前者に関しては、ポンプの開発が行われ、後者に関しては、真空容器材の開発や真空装置内壁の表面改質などの研究が行われている。
机译：当从高真空构造超高真空环境，例如太阳能电池板和半导体器件时，用金属容器构造超高真空环境，容器中残余气体的主要成分是氢气。 一个原因是氢气排气速率小于其他气体，例如涡轮分子泵，使其被吸附到容器和容器的内壁上，因为氢气排气速率小于其他气体。就是这样被解吸的氢被消除不能耗尽。 另外，在烘烤（过热脱气）后，在烘烤（过热脱气）后，也没有忽略从材料的内部扩散并释放到真空容器中的氢气也不会被忽略（过热脱气）。 对于前者，进行泵的发展，并且对于后者，已经进行了研究，例如真空容器材料的开发和真空装置的内壁的表面改性。

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