エッチング速度安定性、低アンダーカット性、鋼選択エッチング性が重要：セミアディティブ工法用パターン形成エッチング液（銅ベース）

有村摩紀

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【24h】

エッチング速度安定性、低アンダーカット性、鋼選択エッチング性が重要：セミアディティブ工法用パターン形成エッチング液（銅ベース）

机译：蚀刻速度稳定性，低下不足和钢选择可蚀刻性的选择很重要：半添加方法图案形成蚀刻剂（基于铜）

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配線パターンのファイン化が進むにつれて、パターン形成手法はサブトラクト法からセミアディティブ法へと移行しつつある。セミアディティブ工法では溶解する鋼厚が少ないため、サブトラクト法で用いるエッチング液に比べて液の安定性に優れ、より精度の高い薬液が求められる。この工法に適したエッチング液「メックブライトVE -7100」を紹介する。

机译：随着布线图案精细，图案形成方法从减去方法转移到半添加方法。由于半添加剂方法较小，因此与在减去方法中使用的蚀刻溶液相比，液体的稳定性较小，因此获得具有更高精度的化学溶液。我们介绍了蚀刻解决方案“MEK BRIGHT VE-7100”适用于这种方法。

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来源
《電子技術》 |2002年第8期|共1页
作者
有村摩紀;
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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类电子电路;
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