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Prototype results of a phase-shifting interferometer capable of measuring the complex index and profile of a test surface

机译：能够测量测试表面的复数折射率和轮廓的相移干涉仪的原型结果

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Results are presented from a prototype phase-shifting interferometer capable of measuring both the real and the imaginary part of the complex index of refraction and the surface profile of a test surface. The three parameters of interest are extracted from the measured data by maximum-likelihood estimation theory. The performance of the system is quantitatively assessed with Cramer-Rao lower bounds. The results are shown to be strongly dependent on the quantization of the interferograms from the 8-bit CCD camera, the incident electric field amplitude, and the relative amplitude and phase difference of each polarized component through each arm of the interferometer.
机译：结果是从相移干涉仪原型中获得的，该相移干涉仪能够测量复折射率的实部和虚部以及测试表面的表面轮廓。通过最大似然估计理论从测量数据中提取感兴趣的三个参数。使用Cramer-Rao下限定量评估系统的性能。结果表明，该结果很大程度上取决于8位CCD相机产生的干涉图的量化，入射电场幅度以及通过干涉仪各臂的每个偏振分量的相对幅度和相位差。

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