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Interphase in plasma-deposited films on plastics: effect on the spectral properties of optical filters

机译：塑料上等离子沉积薄膜的相间：对光学滤光片光谱特性的影响

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The plasma-enhanced chemical vapor deposition of optical coatings on plastic substrates leads to the formation of a physically thick (≈50-100-nm) interfacial region (or interphase). We propose, based on our earlier spectroellipsometric (in situ and ex situ) and spectrophotometric (ex situ) studies, an optical model for the description of the interphase refractive-index profile n(z). We study in detail the effect of such an interphase on the spectral performance of various optical filters (antireflective V-coat, W-coat, achromatic W-coat, and minus filter). It is shown that considering the inhomogeneous n(z) profile in the design can improve the optical performance of some filters.
机译：在塑料基板上进行光学涂层的等离子体增强化学气相沉积会导致形成物理上较厚（约50-100 nm）的界面区域（或相间）。我们基于我们先前的分光光度法（原位和异位）和分光光度法（异位）研究，提出了一种用于描述相间折射率分布n（z）的光学模型。我们详细研究了这种中间相对各种滤光片（减反射V涂层，W涂层，消色差W涂层和负滤光片）的光谱性能的影响。结果表明，在设计中考虑不均匀的n（z）轮廓可以改善某些滤波器的光学性能。

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