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Measurement by multidirectional interferometers of the position and orientation of a positioning stage

机译：用多向干涉仪测量定位台的位置和方向

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A multidirectional interferometer system is developed to determine the position and orientation of a stage moved in a two-dimensional (2-D) space. In this system four corner-cube prisms are mounted on the moving stage, and four laser beams are incident on the corner cubes in different directions. Moving distances in the observed directions are measured by laser interferometers. The position and orientation of the stage are calculated from the moving distances of the corner cubes. Some experiments are done on the 2-D moving stage with four interferometers, and measurement errors are estimated from redundant data. The estimated accuracy is higher than 0.2 μm for translation and 0.3×10~(-3) deg for rotation for a measurement range of 0.5 mm and 0.5 deg.
机译：开发了一种多向干涉仪系统，以确定在二维（2-D）空间中移动的平台的位置和方向。在该系统中，四个角锥棱镜安装在移动台上，并且四个激光束以不同方向入射在角锥棱镜上。沿观察方向的移动距离由激光干涉仪测量。平台的位置和方向是根据四角形立方体的移动距离来计算的。在带有四个干涉仪的二维移动平台上进行了一些实验，并根据冗余数据估算了测量误差。在0.5 mm和0.5度的测量范围内，平移的估计精度高于0.2μm，旋转的估计精度高于0.3×10〜（-3）度。

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  • 来源
    《Applied optics》 |2003年第28期|共9页
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  • 正文语种 eng
  • 中图分类 光学;
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