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首页> 外文期刊>Integrated Ferroelectrics >Preparation of Diffuser Type Micropump using Screen-printed PZT-PCW Thick Films
【24h】

Preparation of Diffuser Type Micropump using Screen-printed PZT-PCW Thick Films

机译：使用丝网印刷的PZT-PCW厚膜制备扩散器型微型泵

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This paper describes the preparation and experimental results or the piezoelectrie actuating diaphragm and the diffuser type micropump using screen printing thick-film technologies and Si micro-machining. The micropump bas a pumping chamber with an oscillating diaphragm which compresses the pumping chamber. Inlet and outlet planar diffusers direct the liquid flow. The micropump is a stack of two layers bonded together: one silicon piece with Si diaphragm actuator using PZT-PCW thick films, other piece having pumping chamber, planar diffuser and fluidic access holes. Si diaphragm of about 15-25 mu m thickness are prepared on Si(100) wafers by TMAH wet etching. The PZT-PCW thick films are prepared by hybrid method of screen printing modified with PZT sol-gel application. The results from this study show that it is good to perform combination of screen printed PZT thick-film onto micromachined Si structure.
机译：本文描述了采用丝网印刷厚膜技术和硅微机械加工的压电致动膜片和扩散式微泵的制备和实验结果。微型泵的泵室带有一个振动隔膜，该隔膜压缩泵室。入口和出口平面扩散器引导液体流动。微型泵是两层堆叠在一起的堆叠体：一个硅片带有使用PZT-PCW厚膜的Si膜片致动器，另一个硅片具有泵送室，平面扩散器和流体进入孔。通过TMAH湿法刻蚀在Si（100）晶片上制备厚度约15-25μm的Si膜片。 PZT-PCW厚膜是通过PZT溶胶-凝胶法改性的丝网印刷的混合方法制备的。这项研究的结果表明，最好将丝网印刷的PZT厚膜结合到微加工的Si结构上。

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