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FET-based chemical sensor systems fabricated with standard technologies

机译：采用标准技术制造的基于FET的化学传感器系统

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Miniaturized solid-state ion sensors based on field-effect transistors on silicon can take advantage of the capabilities of microelectronics and microsystems technology for the integration of combined functionalities. Optimized solid-state chemical sensors usually require specific materials and fabrication processes. However, if standard fabrication processes can be used, integrated chemical sensor systems can be developed in a shorter time and in a cost effective way. We show that, for applications in which a long operating time is not required, such as in disposable biomedical sensors, good integrated sensor systems can be fabricated with standard materials and processes. Specific examples are presented, such as multisensor systems, sensors with integrated signal-processing circuits and sensors with particle manipulation electrodes.
机译：基于硅上场效应晶体管的微型固态离子传感器可以利用微电子学和微系统技术的功能来集成组合功能。优化的固态化学传感器通常需要特定的材料和制造工艺。但是，如果可以使用标准的制造过程，则可以在更短的时间内以经济高效的方式开发集成化学传感器系统。我们表明，对于不需要较长操作时间的应用（例如在一次性生物医学传感器中），可以使用标准的材料和工艺来制造良好的集成传感器系统。给出了具体示例，例如多传感器系统，具有集成信号处理电路的传感器以及具有粒子操纵电极的传感器。

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