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Novel self-compensation method to lower the temperature drift of a quartz MEMS gyroscope

机译：新型自补偿方法可降低石英MEMS陀螺仪的温度漂移

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A new self-compensation method is proposed in this paper. The impedance of a quartz tuning fork changes along with the temperature. A digital driving circuit is designed so that the frequency can be adjusted by controlling the phase. The relationship between the driving amplitude and the temperature is captured in a digital circuit, which can reflect the temperature information. As the relationship is nonlinear, after third-order fitting, the temperature has a precision of 2.356℃. Finally, the bias stability is optimized and the drift decreases to 1.7%.
机译：提出了一种新的自补偿方法。石英音叉的阻抗随温度变化。设计数字驱动电路，以便可以通过控制相位来调整频率。驱动幅度和温度之间的关系在数字电路中捕获，该电路可以反映温度信息。由于关系是非线性的，因此在进行三次拟合后，温度的精度为2.356℃。最后，偏置稳定性得到优化，漂移降低至1.7％。

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