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Nanofabrication of heteromolecular organic nanostructures on epitaxial graphene via room temperature feedback-controlled lithography

机译：通过室温反馈控制光刻技术在外延石墨烯上纳米制备异分子有机纳米结构

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Nanoscale control of surface chemistry holds promise for tailoring the electronic, optical, and chemical properties of graphene. Toward this end, the nanofabrication of sub-5-nm heteromolecular organic nanostructures is demonstrated on epitaxial graphene using room temperature ultrahigh vacuum scanning tunneling microscopy. In particular, monolayers of the organic semiconductor 3,4,9,10-perylene-tetracarboxylic dianhydride (PTCDA) are nanopatterned on epitaxial graphene using feedback-controlled lithography (FCL) and then used as chemical resists to template the deposition of N,N′-dioctyl-3,4,9,10-perylene-tetracarboxylic diimide (PTCDI-C8). The generality of this FCL-based nanofabrication procedure suggests its applicability to a wide range of fundamental studies and prototype device fabrication on chemically functionalized graphene.
机译：表面化学的纳米级控制为定制石墨烯的电子，光学和化学性质提供了希望。为此，使用室温超高真空扫描隧道显微镜在外延石墨烯上证明了亚5纳米以下异分子有机纳米结构的纳米制造。特别是，使用反馈控制光刻（FCL）在外延石墨烯上对有机半导体3,4,9,10-per-四羧酸二酐（PTCDA）的单分子层进行纳米构图，然后将其用作化学抗蚀剂，以模板化N，N的沉积′-二辛基-3,4,9,10-per-四羧酸二酰亚胺（PTCDI-C8）。这种基于FCL的纳米制造程序的普遍性表明，它适用于广泛的基础研究和化学功能化石墨烯的原型设备制造。

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