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Experimental and numerical study of electrochemical nanomachining using an AFM cantilever tip

机译：使用AFM悬臂尖端进行电化学纳米加工的实验和数值研究

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We fabricated nanopatterns on Cu thin films via an electrochemical route using an atomic force microscope(AFM). Experimental results were compared with an equivalent electrochemical circuit model representing an electrochemical nanomachining(ECN) technique. In order to precisely construct the nanopatterns, an ultra-short pulse was applied onto the Cu film through the AFM cantilever tip. The line width of the nanopatterns (the lateral dimension) increased with increased pulse amplitude, on-time, and frequency. The tip velocity effect on the nanopattern line width was also investigated. The study described here provides important insight for fabricating nanopatterns precisely using electrochemical methods with an AFM cantilever tip.
机译：我们使用原子力显微镜（AFM）通过电化学途径在Cu薄膜上制备了纳米图案。将实验结果与代表电化学纳米加工（ECN）技术的等效电化学电路模型进行了比较。为了精确地构建纳米图案，通过AFM悬臂尖端将超短脉冲施加到Cu膜上。纳米图案的线宽（横向尺寸）随着脉冲幅度，接通时间和频率的增加而增加。还研究了尖端速度对纳米图案线宽的影响。此处描述的研究为使用带有AFM悬臂尖端的电化学方法精确制造纳米图案提供了重要的见识。

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