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Tailoring gold nanostructures for near-field optical applications

机译：为近场光学应用量身定制金纳米结构

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A method of combined thin-film deposition, electron beam lithography, and ion milling is presented for the fabrication of gold and silver nanostructures. The flexibility of lithographical processes for the variation of geometric parameters is combined with three-dimensional control over the surface evolution. Depending on the etching angle, different shapes ranging from cones over rods to cups can be achieved. These size- and shape-tunable structures present a toolbox for nano-optical investigations. As an example, optical properties of systematically varying structures are examined in a parabolic mirror confocal microscope.
机译：提出了一种结合薄膜沉积，电子束光刻和离子铣削的方法来制造金和银纳米结构。光刻工艺用于改变几何参数的灵活性与对表面演化的三维控制相结合。根据蚀刻角度，可以获得从杆上的圆锥体到杯的不同形状。这些尺寸和形状可调的结构提供了用于纳米光学研究的工具箱。例如，在抛物面镜共聚焦显微镜中检查了系统变化的结构的光学性质。

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