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Microfluidic alignment and trapping of 1D nanostructures - a simple fabrication route for single-nanowire field effect transistors

机译:一维纳米结构的微流控对准和捕获-单纳米线场效应晶体管的简单制造路线

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摘要

We present a simple method to microfluidically align and trap 1D nanostructures from suspension at well-defined positions on a receiver substrate for the fabrication of single-nanowire field effect transistors (NWFETs). Our approach allows for subsequent contacting of deposited NWs via standard UV-lithography. We demonstrate that silicon as well as copper(II)oxide NWs can be processed, and that up to 13 out of 32 designated trapping sites are occupied with single-NW FETs.
机译:我们提出了一种简单的方法来微流体对准和捕获1D纳米结构从悬浮液在接收器基板上明确定义的位置上的悬浮状态,以制造单纳米线场效应晶体管(NWFET)。我们的方法允许随后通过标准UV光刻法与沉积的NW接触。我们证明了可以处理硅以及氧化铜(N)的NW,并且在单个NW FET中占据了32个指定的捕获站点中的多达13个。

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