机译:亚秒级极紫外光学器件的相位表征度量衡
MULTILAYER MIRRORS; CONSTANTS; PULSES; DESIGN;
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机译:极紫外多层膜上反射的相位表征:阿秒计量学与驻波测量之间的比较
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机译:极紫外光学器件的有效表面粗糙度规范和特性
机译:开发用于飞秒/阿秒光源的科学研究用的极紫外和软X射线多层光学器件。
机译:极紫外下阿秒光涡旋的合成与表征
机译:用于极紫外光刻的13nm光学计量
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