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Optical filters fabricated in hybrimer media with soft lithography

机译：用软光刻技术在混合介质中制造的滤光片

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Fabrication and characterization of guided-mode resonance filters made by soft lithography are presented. As these resonant elements are highly sensitive to parametric variations, it is important to develop methods for their reliable fabrication. Thus, we provide a fabrication process that is consistent and simple, employing an elastomeric mold and a UV-curable organic-inorganic hybrid material. Measured spectra show approx81percent reflectance and approx8percent transmittance at a resonance wavelength of 1538 nm. The filter's linewidth is approx4.5 nm, and the sideband reflectance is approx5percent. Experimental and theoretical results are in good agreement.
机译：介绍了通过软光刻制造的导模谐振滤波器的制造和特性。由于这些谐振元件对参数变化高度敏感，因此开发可靠制造方法非常重要。因此，我们提供了一种使用弹性体模具和可紫外线固化的有机-无机杂化材料的一致且简单的制造工艺。测得的光谱在1538 nm的共振波长下显示出约81％的反射率和约8％的透射率。滤光片的线宽约为4.5 nm，边带反射率约为5％。实验和理论结果吻合良好。

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