...
  • 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文期刊>Optics Letters >Measurement of the thickness profile of a transparent thin film deposited upon a pattern structure with an acousto-optic tunable filter
【24h】

Measurement of the thickness profile of a transparent thin film deposited upon a pattern structure with an acousto-optic tunable filter

机译：用声光可调滤光片测量沉积在图案结构上的透明薄膜的厚度分布

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
           
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

A simultaneous volumetric thickness-profile measurement method based on an acousto-optic tunable filter for transparent film deposited upon pattern structures is described. The nondestructive thickness profilometer prevents the destruction of samples such as one encounters in using a scanning-electron microscope and provides good accuracy. The information on the volumetric thickness profile is obtained through least-squares fitting with a phase model, φ_(model)(k)=2kh+ψ(k, d)+(offset), which has three unknowns: surface profile h, thickness d, and an indeterminate initial phase offset. Accurate phase information in the spectral domain can be obtained by introduction of the concept of spectral carrier frequency. Experimental results for a metal patterned sample show that the volumetric thickness profile can be determined within an error range of ～10 nm.
机译：描述了一种基于声光可调滤光片的同时体积厚度分布测量方法，该滤光片用于沉积在图案结构上的透明膜。无损厚度轮廓仪可防止样品被破坏，例如在使用扫描电子显微镜时遇到的情况，并提供了良好的准确性。体积厚度轮廓的信息是通过使用相位模型φ_（model）（k）= 2kh +ψ（k，d）+（offset）的最小二乘拟合获得的，它具有三个未知数：表面轮廓h，厚度d，以及不确定的初始相位偏移。可以通过引入频谱载频的概念来获得频谱域中的准确相位信息。金属图案化样品的实验结果表明，可以在〜10 nm的误差范围内确定体积厚度分布。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号