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Heat treatment for reduction of surface roughness on holographic gratings

机译:降低全息光栅表面粗糙度的热处理

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摘要

Controlled postdevelopment heat treatment of the photoresist polymer used in the preparation of holographic gratings has been shown to enhance the diffraction efficiency of gratings and reduce the scattering losses. We prove this effect by analyzing the resonant reflection spectra of a waveguide grating and observing the reduction in the arc-shaped light scattering associated with the excitation of waveguide modes.
机译:已经显示出用于全息光栅的制备中的光致抗蚀剂聚合物的受控显影后热处理可以提高光栅的衍射效率并减少散射损耗。我们通过分析波导光栅的共振反射光谱并观察与波导模式激发相关的弧形光散射的减少来证明这种效果。

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  • 来源
    《Optics Letters》 |2003年第18期|共3页
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  • 正文语种 eng
  • 中图分类 光学;
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