Die Bestimmung der Dicke laserbehandelter Polymerfilme mittels Ellipsometrie

P.H.Thiesen; R.Meier; T.Fedorkova; K.H.Steglich; H.Harde; B.Niemeyer

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Die Bestimmung der Dicke laserbehandelter Polymerfilme mittels Ellipsometrie

机译：椭偏法测定激光处理的聚合物薄膜的厚度

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Die positionsabhangige Veranderung von Grenzflacheneigenschaften wie die variable Einstellung der Dicke von Polymerfilmen ist eine Voraussetzung fur jede Art von positionsabhangigem Grenzflachendesign.Somit werden zum einen Methoden benotigt,die eine ortsabhangige Modifikation der Oberflache erlauben,und zum anderen Messverfahren zur Dokumentation des Erfolges.Ellipsometrie ist eine weit verbreitete Methode zur Untersuchung sehr dunner Filme.Auf der Basis des Polarisationszustandes reflektierter Strahlung im Vergleich zur einfallenden konnen die optischen Grossen und Schichtdicken dunner Schichten bestimmt werden.

机译：界面特性的位置依赖性变化（例如聚合物膜厚度的可变调整）是任何类型的位置依赖性界面设计的先决条件，一方面，需要允许对表面进行位置依赖性修饰的方法，另一方面，需要使用方法来记录成功的问题。广泛用于检查非常薄的薄膜的方法，薄层的光学尺寸和厚度可以根据反射辐射与入射辐射的偏振态确定。

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来源
《Chemie-Ingenieur-Technik: Verfahrenstechnik Technische Chemie Apparatewesen Biotechnologie》 |2004年第9期|共1页
作者
P.H.Thiesen; R.Meier; T.Fedorkova; K.H.Steglich; H.Harde; B.Niemeyer;
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正文语种 ger
中图分类化学工业;
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