Fracture(Mechanics) ; Silicon ; Polycrystalline ; Microelectromechanical systems ; Tensile strength ; Geometry ; Experimental data;
机译:预测微米级多晶硅MEMS结构中的断裂
机译:多晶硅MEMS结构概率断裂的基于第一通道的模型
机译:微细疲劳的微米级多晶膜:骨折力学分析二氧化硅/硅界面的作用
机译:缓解MEMS电容式麦克风中多晶硅结构的机械断裂
机译:AFM / DIC法用于MEMS的多晶硅和类金刚石碳的纳米级变形和断裂力学
机译:材料异质性导致的缺陷对多晶硅MEMS结构偏移的影响
机译:基于多晶硅的MEMS的断裂研究