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机译:开发纳米晶金刚石基光子结构制造的平坦化过程
Julia Heupel; Nina Felgen; Rolf Merz; Michael Kopnarski; Johann Peter Reithmaier; Cyril Popov;
机译:纳米晶金刚石基光子结构制备平面化工艺的发展
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机译:宽带隙纳米晶金刚石膜中短波长光子晶体的制备
机译:基于钻石的量子信息处理应用的Si3N4光子晶体纳米覆的设计,制造和表征
机译:硅和氮化镓光子晶体结构制造工艺的发展。
机译:用于光子晶体的纳米流体结构的CMOS兼容制造
机译:二维光子晶体的制备与表征 纳米金刚石中的微腔
机译:单自对准刻蚀工艺制备三维硅基光子晶体结构。
机译:用于生产多层结构的电化学制造方法,包括在材料沉积平面化中使用金刚石加工
机译:用于生产多层结构的电化学制造方法,包括在材料沉积物的平面化中使用金刚石加工
机译:用于生产多层结构的电化学制造方法,包括在材料沉积物的平面化过程中使用金刚石加工
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