机译:来自四氟化硅的微晶硅薄膜沉积:使用量身定制的电压波形等离子体隔离离子能量的作用
机译:来自四氟化硅的微晶硅薄膜沉积:使用量身定制电压波形等离子体隔离离子能量的作用
机译:用氢稀释的硅烷和四氟化硅对微晶硅薄膜进行量身定制的电压波形沉积:薄膜的光电性能
机译:利用电压波形调整在低离子轰击能量下通过RF-PECVD沉积氢化微晶硅薄膜
机译:用于底栅薄膜晶体管的微晶硅膜的低温等离子体沉积
机译:氢化非晶硅,微晶硅和硅基合金薄膜的沉积和表征。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:沉积温度对等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅薄膜的影响