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用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置

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本发明属微细射流水束与高能激光束耦合加工晶圆的技术领域，特别涉及一种用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置，包括安装支架（1）、二维微调平台（2）及射流腔体（3）；所述二维微调平台（2）与安装支架（1）固定相接；所述射流腔体（3）固定置于二维微调平台（2）中部；所述在二维微调平台（2）中心设有中心通孔（22）。本发明加工效率高，加工质量理想，可满足微水束与激光束耦合加工工艺需求，有效提升晶圆加工工艺水平。

著录项

公开/公告号CN109277697A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-01-29

原文格式PDF
申请/专利权人沈阳仪表科学研究院有限公司;
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申请/专利号CN201811480417.7
发明设计人蒋兴桥;马岩;荣宇;李东旭;陈立新;
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申请日2018-12-05
分类号
代理机构沈阳亚泰专利商标代理有限公司;
代理人郭元艺
地址 110043 辽宁省沈阳市大东区北海街242号
入库时间 2024-02-19 06:33:09

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-03-01

实质审查的生效 IPC(主分类):B23K26/146 申请日:20181205

实质审查的生效
2019-01-29

公开

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1. 用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置 [P] . 中国专利： CN109277697A . 2019-01-29
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