• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 中国专利> 一种自适应步进扫描模块及其三维原子力显微镜和控制方法

一种自适应步进扫描模块及其三维原子力显微镜和控制方法

页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 法律信息
  • 相似文献

摘要

本发明公开了一种自适应步进扫描模块及其三维原子力显微镜和控制方法，所述自适应步进扫描模块包括智能反馈控制器、六轴位移台、数据采集卡和控制模块，其中，所述原子力显微镜的探针驱动器受所述六轴位移台驱动以发生倾斜，所述探针驱动器与所述智能反馈控制器通讯连接，所述智能反馈控制器通过所述数据采集卡与所述控制模块通讯连接，所述数据采集卡与所述六轴位移台通讯连接。该模块可实现样品两侧侧壁的精确测量。

著录项

  • 公开/公告号CN109444474A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-03-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 天津职业技术师范大学;

    申请/专利号CN201811559582.1

  • 发明设计人 王艳艳;贺思汉;边琰;

    申请日2018-12-19

  • 分类号

  • 代理机构天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人李薇

  • 地址 300222 天津市津南区大沽南路1310号

  • 入库时间 2024-02-19 06:59:16

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-04-02

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q60/24 申请日:20181219

    实质审查的生效

  • 2019-03-08

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号