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一种电化学机械复合抛光不锈钢衬底的设备及工艺

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本发明公开了一种电化学机械复合抛光不锈钢衬底的设备及工艺，其中设备包括机械三轴运动本体、复合阴极刀具、绝缘板和电解池，复合阴极刀具顶端与机械三轴运动本体传动连接，底端伸入电解池的电解液内；复合阴极刀具底端设置有不锈钢衬底，绝缘板安装在电解池内，并置于不锈钢衬底底端；电解池外接有电解电源，电解电源的正极与不锈钢衬底电连，电解电源的负极与复合阴极刀具电连。本发明提高了不锈钢衬底的抛光效率和精度，从而提高了太阳能电池对光的吸收率。

著录项

公开/公告号CN109378286A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-22

原文格式PDF
申请/专利权人浙江师范大学;
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申请/专利号CN201811347190.9
发明设计人张克华;庄千洋;李春茂;马佳航;朱苗苗;
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申请日2018-11-13
分类号
代理机构北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人李冉
地址 321000 浙江省金华市婺城区迎宾大道688号
入库时间 2024-02-19 07:20:05

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-03-19

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20181113

实质审查的生效
2019-02-22

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1. 一种电化学机械复合抛光不锈钢衬底的设备及工艺 [P] . 中国专利： CN109378286A . 2019-02-22
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