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一种静电负刚度谐振式加速度计的敏感结构及其使用方法

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本发明公开一种静电负刚度谐振式加速度计的敏感结构及其使用方法，静电负刚度谐振式加速度计的敏感结构包括相邻布置的第一质量块和第二质量块、第一静电驱动部分、第一检测部分、第一敏感部分、第二静电驱动部分、第二检测部分、第二敏感部分、第一至第八固定基座、第一至第八弹性连接梁和质量块弹性连接件。先将两个质量块驱动到驱动模态，在敏感部分加上初始电压，敏感部分会产生静电力，计算出初始静电刚度，并且这时d

著录项

公开/公告号CN109557336A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-02

原文格式PDF
申请/专利权人南京理工大学;
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申请/专利号CN201811617230.7
发明设计人刘雨东;朱欣华;苏岩;张晶;
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申请日2018-12-28
分类号
代理机构南京理工大学专利中心;
代理人张祥
地址 210094 江苏省南京市孝陵卫200号
入库时间 2024-02-19 07:54:08

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-05-17

著录事项变更 IPC(主分类):G01P15/097 变更前: 变更后: 申请日:20181228

著录事项变更
2019-04-26

实质审查的生效 IPC(主分类):G01P15/097 申请日:20181228

实质审查的生效
2019-04-02

公开

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