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退火机台安全监控的方法、退火工艺腔体以及退火机台

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摘要

本发明提供退火机台安全监控的方法、退火工艺腔体以及退火机台，其中，提供重量感应器及信号接收器，重量感应器与退火机台的晶圆顶杆信号连接，信号接收器与重量感应器信号连接，包括以下步骤：晶圆顶杆顶起当前完成退火工艺的晶圆之前，重量感应器获得晶圆顶杆顶部的重量信息；信号接收器采集重量感应器发送的重量信息；信号接收器判断重量信息是否超出阈值，当重量信息超出时，使晶圆顶杆停止动作。本发明的有益效果在于：防止晶圆损伤。

著录项

  • 公开/公告号CN109545713A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-03-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;

    申请/专利号CN201811369310.5

  • 发明设计人 王孝龙;李赟佳;袁立军;

    申请日2018-11-16

  • 分类号

  • 代理机构上海申新律师事务所;

  • 代理人俞涤炯

  • 地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

  • 入库时间 2024-02-19 09:22:25

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-04-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20181116

    实质审查的生效

  • 2019-03-29

    公开

    公开

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