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复制模具形成用树脂组合物、复制模具、以及使用了该复制模具的图案形成方法

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摘要

本发明提供一种能够容易除去残膜，并能够形成可以形成高精度图案的压印用复制模具的树脂组合物。本发明的复制模具形成用树脂组合物在200～450nm中至少一个波长处的光透射率为50％以上，并且含有热塑性或热固性树脂(A)与具有吸收上述波长的光线或使其散射的作用的化合物(B)，且相对于所述(A)100重量份，以0.5～50重量份的比例含有所述(B)。树脂(A)优选为烯烃类树脂或聚硅氧烷树脂。

著录项

公开/公告号CN109963912A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-02

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社大赛璐;
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申请/专利号CN201780071190.8
发明设计人三宅弘人;堤圣晴;
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申请日2017-11-16
分类号C08L101/00(20060101);B29C33/38(20060101);B29C59/02(20060101);C08K3/013(20180101);C08K5/04(20060101);C08K5/16(20060101);C08L23/00(20060101);C08L83/04(20060101);H01L21/027(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人张涛
地址日本大阪府
入库时间 2024-02-19 11:37:04

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-11-22

实质审查的生效 IPC(主分类):C08L101/00 申请日:20171116

实质审查的生效
2019-07-02

公开

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