法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20171025
实质审查的生效
2019-07-02
公开
公开
机译: 用于在真空腔室中运输基质载体的设备,用于基质的真空处理系统以及用于在真空腔室中基质载体的运输方法的设备
机译: 用于在真空腔室中运输基质载体的设备,用于基质的真空处理系统以及用于在真空腔室中基质载体的运输方法的设备
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