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一种基于可调谐仿表面等离子体的宽带片上太赫兹开关

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本发明公开了一种基于可调谐仿表面等离子体的宽带片上太赫兹开关，属于电磁功能器件技术领域。本发明通过将具有相变性质的二氧化钒周期的嵌套到一维亚波长金属刻槽结构中，利用二氧化钒薄膜绝缘态到金属态的相变性质，从而实现对一维亚波长金属刻槽结构的形态重构。一维亚波长金属刻槽结构形态发生变化时，其表面所支持的仿表面等离子体波的色散同时发生变化，引起其截止频率的变化，最终实现对其表面传输的太赫兹仿表面等离子体波传输特性的控制。通过仿真与实验证明，该片上太赫兹开关工作带宽宽，开关比高，便于与其他太赫兹片上器件集成，有助于实现太赫兹器件的小型化。

著录项

公开/公告号CN110112513A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-09

原文格式PDF
申请/专利权人电子科技大学;
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申请/专利号CN201910392994.9
发明设计人张亭;张雅鑫;杨梓强;梁士雄;
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申请日2019-05-13
分类号H01P1/10(20060101);G02F1/01(20060101);
代理机构51203 电子科技大学专利中心;
代理人邹裕蓉
地址 611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
入库时间 2024-02-19 12:54:43

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-09-03

实质审查的生效 IPC(主分类):H01P1/10 申请日:20190513

实质审查的生效
2019-08-09

公开

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