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一种向GaN基异质结构二维电子气中注入自旋的方法和结构

摘要

本发明提供了一种向GaN基异质结构二维电子气中注入自旋的方法和结构,属于半导体自旋电子学技术领域。该方法通过制备AlN/GaN异质结构,控制AlN厚度在1‑3nm左右,使AlN同时作为势垒层和隧穿层注入自旋。本发明可以极大的提高向GaN基异质结构中二维电子气中注入自旋的效率,推进GaN基异质结构中二维电子气的自旋性质的研究,得到性质优良的自旋电子学器件。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-12-03

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/778 申请日:20190712

    实质审查的生效

  • 2019-11-08

    公开

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