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制造相对湿度传感器的方法和相对湿度传感器

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本发明涉及一种制造相对湿度传感器的方法，包括以下步骤：a)在基底(1)上或上方提供第一电极(3)；b)在第一电极(3)上方提供非多孔无机介电层(5)；c)在无机介电层(5)上方提供第二电极(7)；且然后d)穿过第二电极(7)在第二电极(7)和无机介电层(5)中形成孔洞(9)的图案。本发明还涉及特别是通过本发明的方法获得的相对湿度传感器。

著录项

公开/公告号CN110618171A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-27

原文格式PDF
申请/专利权人梅斯法国公司;
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申请/专利号CN201910535279.6
发明设计人 E.杜鲁普特;
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申请日2019-06-20
分类号
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人贺紫秋
地址法国图卢兹
入库时间 2024-02-19 15:39:38

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法律状态
2019-12-27

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