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检测振动传感器中缺陷的方法、相关设备和计算机程序

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摘要

本发明涉及一种用于检测振动传感器中的缺陷的方法，包括：白化(E1)由振动传感器传递的振动信号(X(n))，以及计算(E2)白化的振动信号(X

1. 检测振动传感器中缺陷的方法、相关设备和计算机程序 [P] . 中国专利： CN110573845A . 2019-12-13
2. 用于检测多重图案化制造装置中与重叠相关的缺陷的设计感知系统、方法及计算机程序产品 [P] . 中国专利： CN108885409A . 2018-11-23
3. METHOD FOR DETECTING A DEFECT IN A VIBRATION SENSOR, ASSOCIATED DEVICE AND COMPUTER PROGRAM [P] . 美国专利： US2020116554A1 . 2020-04-16

机译：检测振动传感器，相关设备和计算机程序中的缺陷的方法
4. METHOD FOR DETECTING A DEFECT IN A VIBRATION SENSOR, ASSOCIATED DEVICE AND COMPUTER PROGRAM [P] . 欧洲知识产权局专利： EP3593101A1 . 2020-01-15

机译：检测振动传感器，相关设备和计算机程序中的缺陷的方法
5. METHOD FOR DETECTING A DEFECT IN A VIBRATION SENSOR, ASSOCIATED DEVICE AND COMPUTER PROGRAM [P] . 世界知识产权组织专利： WO2018197797A1 . 2018-11-01

机译：检测振动传感器，相关设备和计算机程序中的缺陷的方法