首页> 中国专利> 一种大行程结构的静电驱动MEMS变形镜

一种大行程结构的静电驱动MEMS变形镜

页面导航

摘要
著录项
法律信息
相似文献

摘要

本发明公开了一种大行程结构的静电驱动MEMS变形镜，其中包括：镜面，为一矩形的平板镜面；上电极，为一矩形的平板上电极；梁，是含有四根矩形的柱体梁；两个锚点，分别固接于每根梁的两个端部，且两个锚点分别位于每根梁相互垂直的平面上；硅基底，在其内部是一凹形体，在凹形体的底部有一通孔；绝缘层，固接于硅基底的凹形体的表面上形成一行程腔；在行程腔的凹底部设置有下电极，下电极的导线贯穿于硅基底的通孔中；梁平行放置于上电极板和绝缘层的上部之间，上电极板通过梁和锚点固定在行程腔的上面，上电极板与镜面平行，支撑柱位于上电极板和镜面之间，上电极板通过支撑柱支撑变形镜的镜面。

著录项

公开/公告号CN102981272A

专利类型发明专利
公开/公告日2013-03-20

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院光电技术研究所;
展开▼

申请/专利号CN201210523639.9
发明设计人邱传凯;庄须叶;王强;汪为民;张铁军;熊伟;罗吉;张建飞;姚军;
展开▼

申请日2012-12-07
分类号G02B26/08(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人梁爱荣
地址 610209 四川省成都市双流350信箱
入库时间 2024-02-19 17:37:56

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-07-01

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G02B26/08 申请公布日:20130320 申请日:20121207

发明专利申请公布后的视为撤回
2013-04-17

实质审查的生效 IPC(主分类):G02B26/08 申请日:20121207

实质审查的生效
2013-03-20

公开

公开

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 一种大行程结构的静电驱动MEMS变形镜的制作方法 [P] . 中国专利： CN102981271B . 2015.05.13
2. 一种大行程结构的静电驱动MEMS变形镜的制作方法 [P] . 中国专利： CN102981271A . 2013-03-20
3. A computer-executable program that generates a computer-executable program that generates a computer system for generating a data structure for information retrieval, method therefor, the data structure for information retrieval, the data structure for information retrieval A computer-readable storage medium storing and retrieval system, graphical user interface system [P] . 日本专利： JP3974511B2 . 2007-09-12

机译：一种计算机可执行程序，其生成计算机可执行程序，该计算机可执行程序生成用于生成用于信息检索的数据结构的计算机系统，其方法，用于信息检索的数据结构，用于信息检索的数据结构检索系统，图形用户界面系统
4. A method for the production of mems - structures and mems - structure [P] . 德国专利： DE102010062062A1 . 2012-05-31

机译：一种mems-结构和mems-结构的生产方法
5. A method of stroke - and depositing device for portable large container, for example cabins, container or the like. [P] . 德国专利： DE3618039C1 . 1987-09-24

机译：一种用于便携式大容器例如机舱，容器等的行程和存放装置的方法。