荷兰tempress扩散炉的小氮超出压力标准报警系统

技术领域

 本发明涉及一种自动化控制系统，具体涉及荷兰tempress扩散炉的小氮超出压力标准报警系统。

背景技术

扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一，它的主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。

扩散时要通入大量纯氮气作为稀释气体，故称大氮；同时还有一路量比较小的氮气要通过磷源瓶携带磷源进入管体，故称小氮。当小氮的压力超出范围时，会切断V12A&V12B两个电磁阀，导致无法通源，它的目的是为了防止小氮压力过大，使源瓶破裂。同时也会造成正在扩散的硅片无法扩散，并且它也不会报警，也不会跳步，会造成许多返工片。

发明内容

本发明的目的是提供一种荷兰tempress扩散炉的小氮超出压力标准报警系统，利用tempress设备的DPC的输入的空余端口X12把小氮的压力信号引进控制系统，同时把信号写进tempress的工艺程序中，在程序中添加跳步指令。可以使当小氮的压力超出范围的时候可以发出声光报警，当小氮的压力超出范围的时候可以在扩散前跳步，避免返工片。

荷兰tempress扩散炉的小氮超出压力标准报警系统，是通过下列步骤实现的：

（1）接线：把小氮压力检测传感器180s7的超压信号从继电器180k8的A2端口连接到DPC空余端口12的触发继电器180k17的A2端口，小氮压力检测传感器180s7的超压信号从继电器180k8的A1端口连接到DPC空余端口12的触发继电器180k17的A1端口，当小氮压力传感器有超压信号的时候，就可以触发DPC端口12的触发继电器180k17。

（2）程序修改：把报警程序中的“Branch on Dig.Input (5) UPSPOWER Alarm to Step 10”后增加小氮信号：“Branch on Dig.Input (12) CUSTALRM Alarm to Step 10”。

（3）测试：手动调试使小氮压力超出极限，设备操作界面的蜂鸣器会发出嘀嘀的警告声音和红色的LED会发出红光警告。设备的运行程序如运行在扩散步骤前会跳到整个扩散程序的第10步，扩散的产品会退出扩散炉管。

本发明的优点是在生产过程中当小氮的压力超出范围的时候可以发出声光报警，当小氮的压力超出范围的时候可以在扩散前跳步，避免返工片。

附图说明：

图1为本发明的电路结构示意图。

具体实施例

下面结合具体实施例对本发明做进一步的说明，以助于理解本发明的内容。

实施例1：

荷兰tempress扩散炉的小氮超出压力标准报警系统，是通过下列步骤实现的：

（1）接线：把小氮压力检测传感器180s7的超压信号从继电器180k8的A2端口连接到DPC空余端口12的触发继电器180k17的A2端口，小氮压力检测传感器180s7的超压信号从继电器180k8的A1端口连接到DPC空余端口12的触发继电器180k17的A1端口，当小氮压力传感器有超压信号的时候，就可以触发DPC端口12的触发继电器180k17。

（2）程序修改：把报警程序中的“Branch on Dig.Input (5) UPSPOWER Alarm to Step 10”后增加小氮信号：“Branch on Dig.Input (12) CUSTALRM Alarm to Step 10”。

（3）测试：手动调试使小氮压力超出极限，设备操作界面的蜂鸣器会发出嘀嘀的警告声音和红色的LED会发出红光警告。设备的运行程序如运行在扩散步骤前会跳到整个扩散程序的第10步，扩散的产品会退出扩散炉管。