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区分原生表面特征与外来表面特征的方法

摘要

本申请公开了区分原生表面特征与外来表面特征的方法。本文提供了一种装置,包括:光子探测器阵列;以及处理设备,配置成处理与从物品的表面散射并且聚焦在第一焦平面的第一组光子以及从物品的表面散射并且聚焦在第二焦平面的第二组光子相对应的光子探测器阵列信号,其中所述处理设备进一步包括区分物品的原生表面特征与物品的外来表面特征。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-10-08

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N21/88 授权公告日:20170104 终止日期:20181016 申请日:20131016

    专利权的终止

  • 2017-01-04

    授权

    授权

  • 2014-05-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/88 申请日:20131016

    实质审查的生效

  • 2014-04-16

    公开

    公开

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