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一种基于激光溅射电离的薄层快速深度分析方法

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一种基于激光溅射电离的薄层快速深度分析方法，构建激光溅射电离垂直飞行时间质谱装置；包括激光光学部分和飞行时间质谱部分，光学部分包括激光器、衰减器、扩束器、光阑和聚焦透镜,飞行时间质谱部分包括前端固定有二维移动平台的进样探杆，二维移动平台被伸入至离子源腔体中，在腔体中充有惰性气体，所述离子源腔体的一侧面具有采样锥，在采样锥后面具有依次有离子透镜系统，和飞行时间质谱分析器探测，通过飞行时间质谱分析器制作激光每次作用的谱图，从谱图中确定出激光的钻穿脉冲数从而获得镀层的厚度。本发明减少对样品的破坏，放宽了对样品形状和尺寸的要求，减少了基体效应，具有较高灵敏度和较低检出限且分析速度快。

著录项

公开/公告号CN103728362A

专利类型发明专利
公开/公告日2014-04-16

原文格式PDF
申请/专利权人深圳出入境检验检疫局工业品检测技术中心;
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申请/专利号CN201310752137.8
发明设计人余淑媛;杭纬;李彬;吴透明;刘志红;冯均利;任聪;李勇;王嘉莉;宋保靓;吴景武;刘冬;
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申请日2013-12-31
分类号G01N27/64;
代理机构北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人汤东凤
地址 518000 广东省深圳市南山区工业八路蛇口国检大院检验大楼
入库时间 2024-02-19 23:19:30

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-11-09

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N27/64 申请公布日:20140416 申请日:20131231

发明专利申请公布后的视为撤回
2014-05-14

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N27/64 申请日:20131231

实质审查的生效
2014-04-16

公开

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