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WBN硬质纳米结构薄膜及制备方法

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摘要

本发明公开了一种WBN硬质纳米结构薄膜及其制备方法，其特征在于该薄膜是利用双靶共焦射频反应溅射法沉积在硬质合金或陶瓷基体上，薄膜分子式为（W,B）N，厚度在1-3um。沉积时,真空度优于3.0×10-3Pa,以氩气起弧，氮气为反应气体，氩氮流量比10:（6-15），溅射气压0.3Pa，W靶溅射功率80-200W，B靶溅射功率0-150W。该方法生产效率高，所得薄膜兼具高硬度和优异的摩擦性能，可作为高速、干式切削的纳米结构硬质薄膜。

著录项

  • 公开/公告号CN103898455A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-07-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 江苏科技大学;

    申请/专利号CN201410088898.2

  • 发明设计人 喻利花;许俊华;董鸿志;

    申请日2014-03-12

  • 分类号C23C14/34(20060101);C23C14/06(20060101);

  • 代理机构32200 南京经纬专利商标代理有限公司;

  • 代理人楼高潮

  • 地址 212003 江苏省镇江市梦溪路2号

  • 入库时间 2024-02-19 23:49:46

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-07-07

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/34 申请公布日:20140702 申请日:20140312

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2014-07-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/34 申请日:20140312

    实质审查的生效

  • 2014-07-02

    公开

    公开

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