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一种利用纳米压印技术快速制备蓝宝石图形衬底的方法

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本发明揭示了一种纳米压印技术制备蓝宝石图形衬底的方法，包括如下步骤：采用硬模板和软模板两种方式制备纳米压印模板，在洁净的蓝宝石衬底上生长外延层，蒸渡SiO2或Cr得到目标片，然后在目标片表面涂覆适量的热压胶，匀胶后的目标片与纳米压印模板进行压印，将光刻胶表面图案转移到目标片表面，通过一系列后处理，得到所需蓝宝石图形衬底。本发明的有益效果主要体现在：突破了传统光刻在特征尺寸减小过程中的难题，制备具有纳米特征尺寸图形衬底，图形衬底尺寸小于500nm。实现了全新的NPSS衬底产业化技术，同时降低了衬底加工成本和外延生产成本，LED照明芯片生产成本降低15%等诸多优点。

著录项

公开/公告号CN103840050A

专利类型发明专利
公开/公告日2014-06-04

原文格式PDF
申请/专利权人苏州新纳晶光电有限公司;
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申请/专利号CN201210483894.5
发明设计人王怀兵;蔡金;王辉;吴思;崔峥;高育龙;
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申请日2012-11-26
分类号H01L33/20(20100101);G03F7/00(20060101);
代理机构32102 南京苏科专利代理有限责任公司;
代理人陆明耀;陈忠辉
地址 215021 江苏省苏州市园区苏虹东路388号
入库时间 2024-02-20 00:20:11

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-10-17

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L33/20 申请公布日:20140604 申请日:20121126

发明专利申请公布后的驳回
2014-07-02

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L33/20 申请日:20121126

实质审查的生效
2014-06-04

公开

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