法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-11-30
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G02B27/62 申请公布日:20140924 申请日:20140619
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-10-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B27/62 申请日:20140619
实质审查的生效
2014-09-24
公开
公开
机译: 具有亚微米级开口的用于制造亚微米级网格的掩模的制造方法以及亚微米级网格
机译: 具有亚微米级开口的用于制造亚微米级网格的掩模的制造方法以及亚微米级网格
机译: 诊断异常孔隙高的区域中亚微米级顶部的状态的方法用于诊断异常孔隙高的区域中亚微米级顶部的状态的方法