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多层嵌埋结构GaSb量子点材料的液相外延制备方法

摘要

本发明公开了一种多层嵌埋结构GaSb量子点材料的液相外延制备方法。本发明包括在具有(100)取向的GaAs衬底上生长一层GaSb量子点材料,然后再生长一层GaAs盖帽层将GaSb量子点层钝化保护起来,重复上述周期结构三次以上,以形成多层嵌埋结构的GaSb量子点材料。本发明的优点是:其一采用的液相外延技术相比其他生长技术具有成本低廉,操作简便的优势;其二多层量子点结构相比单层量子点结构,其量子点PL发光性能大大改善,半峰宽减小,发光曲线光滑。

著录项

  • 公开/公告号CN103681260A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-03-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院上海技术物理研究所;

    申请/专利号CN201310590931.7

  • 发明设计人 胡淑红;邱锋;吕英飞;王洋;戴宁;

    申请日2013-11-21

  • 分类号H01L21/208;

  • 代理机构上海新天专利代理有限公司;

  • 代理人郭英

  • 地址 200083 上海市虹口区玉田路500号

  • 入库时间 2023-12-17 01:24:36

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-11-09

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/208 申请公布日:20140326 申请日:20131121

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2014-04-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/208 申请日:20131121

    实质审查的生效

  • 2014-03-26

    公开

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